決定顯微鏡性能的主要因素是分辨率，也叫分辨本領(lǐng)或解像力。但是放大率、清晰度等物理量與分辨本領(lǐng)有著密切關(guān)系。

顯微鏡是復(fù)雜的共軸光學(xué)系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)由光源、孔徑光欄、聚光鏡和物鏡等主要成像要素所構(gòu)成。目鏡只不過是把物像直接放大并投影到屏幕(包括人類視網(wǎng)膜)上的光學(xué)部件而已.光源可能是非相干光源如日光、燈光，也可能是相干光源如點(diǎn)光源。

顯微鏡成像光路中的關(guān)鍵性成像部件是物鏡。從光源到物鏡前透鏡之間的無數(shù)個(gè)平面，在物鏡的后方均有其相對(duì)應(yīng)的共扼平面。但是根據(jù)阿貝理論，顯微鏡里的物平面O與之相對(duì)應(yīng)的共扼平面即像平面O‘和光源I.平面與之相對(duì)應(yīng)的共扼I,‘平面，是成像系統(tǒng)中重要的兩對(duì)平面。

在設(shè)備中孔徑光欄所限定的入射光束的張角范圍內(nèi)，經(jīng)過聚光鏡直接變成照射標(biāo)本的照明光源。孔徑光欄平面上的光在物鏡后焦面或在其附近成像。首先孔徑光欄限定成像光束所必需的入射角.這就意味著顯微鏡下觀察物體的適宜的亮度由此決定。其次來自標(biāo)本的立體結(jié)構(gòu)的不同平面上的成像光線也由此來決定。總之設(shè)備中的物像的適度反襯度和物像輪廓的清晰度由此來決定。

影響圖像清晰度可以設(shè)法校正一種像差是像散。和透射電鏡中一樣，掃描電鏡鏡筒的下部也裝有一個(gè)消像散器。應(yīng)該認(rèn)真調(diào)節(jié)消像器才能保證得到好的圖像。如果像散量過大，消像散器的校正場已不足補(bǔ)償其缺陷，就必須盡快清洗電鏡的光路區(qū)，常用顯微鏡型號(hào)景深有多大尤其是本透鏡和末光闌部分。

顯微鏡校準(zhǔn)的方法很簡單：

 1、顯微鏡的溯源由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類型、結(jié)構(gòu)及精度亦不同，因而溯源關(guān)系和方式也不同。通過不同的技術(shù)手段和方法，我們終可溯源到“單刻線樣板標(biāo)準(zhǔn)器組”和“0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺”標(biāo)準(zhǔn)器組。

 2、校準(zhǔn)項(xiàng)目的設(shè)立

 2.1、物鏡場曲將一物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺放在工作臺(tái)上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時(shí)將千分表測頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。觀察千分表，其大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。物鏡場曲誤差的指標(biāo)如下：10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm

 2.2、物鏡放大倍數(shù)的正確性裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。觀察時(shí)測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%

 2.3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距；調(diào)整工作臺(tái)，使分劃板的水平線與萬工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁?duì)好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um

 2.4、物鏡成像清晰范圍用被檢物鏡及10X目鏡對(duì)測微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場中心像清晰時(shí)，測得視場內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%

 2.5、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺(推薦使用隨機(jī)0.01mm測微尺)放在工作臺(tái)上并壓緊；調(diào)整測微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。